2011年4月21日木曜日

ガラスへのレーザー穴あけ加工


ガラスへのレーザー穴あけ加工事例
 
この写真なんだと思います?

『風の谷のナウシカ』の胞子の世界を彷彿とさせるうような神秘的な柱、実はガラス基板にあけた100μmの孔の断面画像です。
レーザーで加工するとテーパー形状に加工されます。
そこでレーザー加工後、同一芯を狙ってドリルで加工したもおです。
しかし同芯に加工されず、少しズレてしまいました。

結構実験費用がかかったのに。。。あ~ぁ
また怒られちゃう(>_<)