1μｍのレーザー穴あけ加工

１μｍのレーザー穴あけ加工事例

今月の失敗はちょっとすごいです!!

SUSにエキシマレーザーにてΦ10μｍの穴あけ加工をする予定でした。
エキシマレーザーで加工する際にはマスクが必要です。
そのマスクを作製する際にビームの縮小率の計算を間違えてしまい、加工面でΦ1μｍのサイズになるマスクを作製してしまいました。
条件出しの際に加工オペレーターが気がついたのですが、とりあえず実際に加工を実施してみました。

すると・・・・
t=10μｍのSUS板にΦ1μｍの貫通穴が出来ました。
SEM（×35000）で観察した形状です。

この失敗、何かに使えないでしょうか？？？

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